POLARIZATION HYSTERESIS EVALUATION METHOD OF FERROELECTRIC CAPACITOR,申请号JP19960228122-传众专利搜索

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发明名称	POLARIZATION HYSTERESIS EVALUATION METHOD OF FERROELECTRIC CAPACITOR
摘要
申请公布号	JPH09129694(A)	申请公布日期	1997.05.16
申请号	JP19960228122	申请日期	1996.08.29
申请人	MATSUSHITA ELECTRON CORP	发明人	TAKEO MASATO
分类号	G01R27/26;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/66	主分类号	G01R27/26
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