发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09129872(A) 申请公布日期 1997.05.16
申请号 JP19950284988 申请日期 1995.11.01
申请人 SHARP CORP 发明人 UEDA TAKASHI
分类号 H01L21/336;H01L21/318;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
地址