发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH09129868(A) 申请公布日期 1997.05.16
申请号 JP19950281355 申请日期 1995.10.30
申请人 NEC CORP 发明人 NINOMIYA HITOSHI
分类号 H01L27/088;H01L21/8234;H01L27/04;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/823 主分类号 H01L27/088
代理机构 代理人
主权项
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