发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09129889(A) 申请公布日期 1997.05.16
申请号 JP19950282955 申请日期 1995.10.31
申请人 NEC CORP 发明人 HAYASHI FUMIHIKO
分类号 H01L21/324;H01L21/30;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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