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发明名称 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR INFORMATIONSVERARBEITUNG
摘要
申请公布号 AT151906(T) 申请公布日期 1997.05.15
申请号 AT19910307927T 申请日期 1991.08.29
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 MATSUDA, HIROSHI;KAWADE, HISAAKI;EGUCHI, KEN;KISHI, ETSURO;KAWAGISHI, HIDEYUKI;TAKIMOTO, KIYOSHI;KASANUKI, YUJI;YANAGISAWA, YOSHIHIRO;TAKEDA, TOSHIHIKO
分类号 G01Q30/04;G01Q60/10;G01Q60/50;G01Q80/00;G11B9/00;G11B9/04;G11B9/14;G11B21/08;G11B23/34;H01L21/68;(IPC1-7):G11B9/00 主分类号 G01Q30/04
代理机构 代理人
主权项
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