发明名称 Verfahren zur Herstellung von Substraten mit dielektrischer Trennung
摘要
申请公布号 DE69125588(D1) 申请公布日期 1997.05.15
申请号 DE1991625588 申请日期 1991.12.24
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 OHTA, YUTAKA, ANNAKA-SHI, GUNMA-KEN, JP;OHKI, KONOMU, ANNAKA-SHI, GUNMA-KEN, JP;KATAYAMA, MASATAKE, TAKASAKI-SHI, GUNMA-KEN, JP
分类号 H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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