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发明名称 INTERFEROMETER BESTEHEND AUS EINER INTEGRIERTEN ANORDNUNG UND EINEM REFLEKTIERENDEN TEIL, DIE DURCH EINE MESSZONE VONEINANDER GETRENNT SIND
摘要
申请公布号 AT152237(T) 申请公布日期 1997.05.15
申请号 AT19930116051T 申请日期 1993.10.05
申请人 CSEM, CENTRE SUISSE D'ELECTRONIQUE ET DE MICROTECHNIQUE S.A. 发明人 VOIRIN, GUY;FALCO, LUCIEN
分类号 G01B9/02;G01N21/45;(IPC1-7):G01J9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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