发明名称 Zone analysis system and method for optimizing the performance of an inspection system for determining disparity between two surfaces
摘要
申请公布号 EP0740130(A3) 申请公布日期 1997.05.14
申请号 EP19960302701 申请日期 1996.04.17
申请人 AT&T IPM CORP. 发明人 CSIPKES, ANDREI;PALMQUIST, JOHN MARK
分类号 G01B11/24;G01M11/00;(IPC1-7):G01B11/24;G01B11/14 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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