发明名称 Charged-beam exposure system and charged-beam exposure method
摘要
申请公布号 GB9706458(D0) 申请公布日期 1997.05.14
申请号 GB19970006458 申请日期 1997.03.27
申请人 NEC CORPORATION 发明人
分类号 G03F7/20;H01J37/304;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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