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经营范围
发明名称
Charged-beam exposure system and charged-beam exposure method
摘要
申请公布号
GB9706458(D0)
申请公布日期
1997.05.14
申请号
GB19970006458
申请日期
1997.03.27
申请人
NEC CORPORATION
发明人
分类号
G03F7/20;H01J37/304;H01L21/027
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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