发明名称 |
Electrostatic discharge control during the removal of contaminants from surfaces by means of a jet spray |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0590495(B1) |
申请公布日期 |
1997.05.14 |
申请号 |
EP19930115274 |
申请日期 |
1993.09.22 |
申请人 |
HUGHES AIRCRAFT COMPANY |
发明人 |
KRONE-SCHMIDT, WILFRIED;DI MILIA, EDWARD S.;SLATTERY, MICHAEL J. |
分类号 |
B08B7/02;B05B12/00;B08B6/00;B08B7/00;B24C1/00;B24C3/32;H01L21/00;H05F3/04;(IPC1-7):B24C1/00;B08B5/02 |
主分类号 |
B08B7/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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