发明名称 Electrostatic discharge control during the removal of contaminants from surfaces by means of a jet spray
摘要
申请公布号 EP0590495(B1) 申请公布日期 1997.05.14
申请号 EP19930115274 申请日期 1993.09.22
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人 KRONE-SCHMIDT, WILFRIED;DI MILIA, EDWARD S.;SLATTERY, MICHAEL J.
分类号 B08B7/02;B05B12/00;B08B6/00;B08B7/00;B24C1/00;B24C3/32;H01L21/00;H05F3/04;(IPC1-7):B24C1/00;B08B5/02 主分类号 B08B7/02
代理机构 代理人
主权项
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