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发明名称 Apparatus and method relating to ion implantation and heat transfer
摘要
申请公布号 EP0421728(B1) 申请公布日期 1997.05.14
申请号 EP19900310771 申请日期 1990.10.02
申请人 SUPERION LIMITED 发明人 AITKEN, DEREK
分类号 H01L21/68;H01J37/317;H01L21/00;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/00;C23C14/50 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
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