ELECTRON GUN VAPOR DEPOSITION DEVICE AND ELECTRON GUN VAPOR DEPOSITION METHOD,申请号JP19950310030-传众专利搜索

发明名称	ELECTRON GUN VAPOR DEPOSITION DEVICE AND ELECTRON GUN VAPOR DEPOSITION METHOD
摘要
申请公布号	JPH09125235(A)	申请公布日期	1997.05.13
申请号	JP19950310030	申请日期	1995.11.01
申请人	ANELVA CORP	发明人	NAKAKAWARA HITOSHI
分类号	C23C14/30;H01L21/203;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/30	主分类号	C23C14/30
代理机构		代理人
主权项
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