| 发明名称 |
CRYSTAL GROWTH OF COMPOUND SEMICONDUCTOR AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09124398(A) |
申请公布日期 |
1997.05.13 |
| 申请号 |
JP19950283126 |
申请日期 |
1995.10.31 |
| 申请人 |
STANLEY ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
TOMITA SHIYOUTAROU;KATO HIROYUKI |
| 分类号 |
C30B11/00;C30B29/48;H01L21/208;H01L21/368;(IPC1-7):C30B29/48 |
主分类号 |
C30B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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