Evakuierungsvorrichtung und Evakuierungsverfahren,申请号DE1990628796T-传众专利搜索

发明名称	Evakuierungsvorrichtung und Evakuierungsverfahren
摘要
申请公布号	DE69028796(T2)	申请公布日期	1997.05.07
申请号	DE1990628796T	申请日期	1990.05.04
申请人	KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP;EBARA CORP., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	OKUMURA, KATSUYA, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;KURIYAMA, FUMIO, FUJISAWA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;MURAI, YUKIO, FUJISAWA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;TSUJIMURA, MANABU, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;SOBUKAWA, HIROSHI, KOHOKU-KU, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP
分类号	F04B37/16;B01J3/02;F04B37/06;F04D19/04;H01L21/302;H01L39/24;(IPC1-7):F04D19/04;B01D8/00	主分类号	F04B37/16
代理机构		代理人
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