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发明名称 Plasmareaktor
摘要
申请公布号 DE69218720(D1) 申请公布日期 1997.05.07
申请号 DE19926018720 申请日期 1992.10.08
申请人 APPLIED MATERIALS, INC., SANTA CLARA, CALIF., US 发明人 COOK, JOEL M., PLEASANTON, CALIFORNIA 94566, US;TROW, JOHN R., SANTA CLARA, CALIFORNIA 95054, US
分类号 H01L21/302;H01J37/32;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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