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经营范围
发明名称
Plasmaprozess, Verfahren und Gerät
摘要
申请公布号
DE69030347(D1)
申请公布日期
1997.05.07
申请号
DE19906030347
申请日期
1990.10.04
申请人
APPLIED MATERIALS, INC., SANTA CLARA, CALIF., US
发明人
MINTZ, DONALD M., SUNNYVALE, CA 94087, US;HANAWA, HIROJI, SANTA CLARA, CA 95051, US;SOMEKH, SASSON, LOS ALTOS HILLS, CA 94022, US;MAYDAN, DAN, LOS ALTOS HILLS, CA 94022, US
分类号
C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/316;H05H1/46;(IPC1-7):H01J37/32
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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