发明名称 Plasmaprozess, Verfahren und Gerät
摘要
申请公布号 DE69030347(D1) 申请公布日期 1997.05.07
申请号 DE19906030347 申请日期 1990.10.04
申请人 APPLIED MATERIALS, INC., SANTA CLARA, CALIF., US 发明人 MINTZ, DONALD M., SUNNYVALE, CA 94087, US;HANAWA, HIROJI, SANTA CLARA, CA 95051, US;SOMEKH, SASSON, LOS ALTOS HILLS, CA 94022, US;MAYDAN, DAN, LOS ALTOS HILLS, CA 94022, US
分类号 C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/316;H05H1/46;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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