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发明名称 Local oxidation of silicon method
摘要
申请公布号 GB2306780(A) 申请公布日期 1997.05.07
申请号 GB19960022822 申请日期 1996.11.01
申请人 * HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. 发明人 JONG CHOUL * KIM;YOUNG BOG * KIM;SUNG JU * KWON;BYUNG JIN * CHO
分类号 H01L21/316;H01L21/32;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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