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发明名称 HALBLEITERVERRICHTUNGSHERSTELLUNGSVERFAHREN
摘要
申请公布号 DE69125498(D1) 申请公布日期 1997.05.07
申请号 DE19916025498 申请日期 1991.09.11
申请人 KOMATSU ELECTRONIC METALS CO., LTD., HIRATSUKA, KANAGAWA, JP 发明人 KAWAHARA, HIROYUKI, 812-1, SHINOMIYA, KANAGAWA 254, JP;KONO, MITSUO, WAKAMIYA HEIGHTS 1-505, KANAGAWA 254, JP
分类号 H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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