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发明名称 Hochglanzpolierbares Siliziumkarbid mit hoher thermischer leitfähigkeit, Verfahren zur Herstellung und Anwendung
摘要
申请公布号 DE69309375(D1) 申请公布日期 1997.05.07
申请号 DE19936009375 申请日期 1993.07.30
申请人 CVD INC., WOBURN, MASS., US 发明人 PICKERING, MICHAEL A., DRACUT MA 01826, US;BURNS LEE E., BURNS LEE E., WOBURN MA 01801, US;GOELA JITENDRA S., GOELA JITENDRA S., ANDOVER MA 01810, US
分类号 C01B31/36;B28B21/42;C04B35/565;C04B35/571;C23C16/00;C23C16/01;C23C16/32;C23C16/44;G11B5/73;G11B5/84;(IPC1-7):C23C16/32;C04B35/56;G11B5/31;G11B5/64 主分类号 C01B31/36
代理机构 代理人
主权项
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