发明名称 Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats von einem elektrisch leitfähigen Target
摘要
申请公布号 DE19540794(A1) 申请公布日期 1997.05.07
申请号 DE19951040794 申请日期 1995.11.02
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450 HANAU, DE 发明人 SZCZYRBOWSKI, JOACHIM, DR., 63773 GOLDBACH, DE;TESCHNER, GOETZ, 63450 HANAU, DE;BRAEUER, GUENTER, DR., 63579 FREIGERICHT, DE
分类号 C23C14/34;C23C14/40;C23C14/56;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34;H05H1/46;C23C14/22 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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