发明名称 Cadmium/Edelgase Entladungslampe vom Kurzbogen-Typ, und Projektions-Belichtungsvorrichtung unter Verwendung derselbe
摘要
申请公布号 DE69309399(D1) 申请公布日期 1997.05.07
申请号 DE19936009399 申请日期 1993.11.19
申请人 USHIODENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP;NIKON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 YASUDA, YUKIO, HIMEJI-SHI, HYOGO-KEN, JP;YAMAGUCHI, AKIYASU, HIMEJI-SHI, HYOGO-KEN, JP;IGARASHI, TATSUSHI, HIMEJI-SHI, HYOGO-KEN, JP;OONISHI, YASUO, HIMEJI-SHI, HYOGO-KEN, JP;KAI, KENZO, HIMEJI-SHI, HYOGO-KEN, JP;SUGIHARA, MASANORI, HIMEJI-SHI, HYOGO-KEN, JP;MORI, TAKASHI, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;MIYAJI, AKIRA, SETAGAYA-KU, TOKYO, JP
分类号 G03F7/20;H01J61/16;H01J61/18;H01J61/86;(IPC1-7):H01J61/18 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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