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发明名称 Process for using halogenated carboxylic acid cleaning agents for fabricating integrated circuits
摘要
申请公布号 EP0536747(B1) 申请公布日期 1997.05.07
申请号 EP19920117198 申请日期 1992.10.08
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 发明人 ROBERTS, DAVID ALLEN;IVANKOVITS, JOHN CHRISTOPHER;BOHLING, DAVID ARTHUR
分类号 C11D7/02;C11D7/08;C11D7/28;C11D11/00;C23G5/00;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3105;H05K3/26;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C11D7/02
代理机构 代理人
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