| 发明名称 |
AFTER-TREATMENT METHOD OF SAMPLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09120961(A) |
申请公布日期 |
1997.05.06 |
| 申请号 |
JP19960298413 |
申请日期 |
1996.11.11 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
FUKUYAMA RYOJI;NAWATA MAKOTO;KAKEHI YUTAKA;KAWAHARA HIRONORI |
| 分类号 |
C23F4/00;C23F15/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/320;H01L21/321 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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