| 发明名称 |
STICKING OF INSULATOR USING FOCUSED ION BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09120962(A) |
申请公布日期 |
1997.05.06 |
| 申请号 |
JP19960112683 |
申请日期 |
1996.05.07 |
| 申请人 |
SCHLUMBERGER TECHNOL INC |
发明人 |
HONGIYU SHIIMEN;MAIKERU EI SHIISHIAA;DAGURASU MASUNAGETSUCHI |
| 分类号 |
C23C16/48;C23C16/04;C23C16/40;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
C23C16/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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