| 发明名称 |
MOLECULAR BEAM EPITAXIAL GROWTH METHOD AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09118588(A) |
申请公布日期 |
1997.05.06 |
| 申请号 |
JP19950277770 |
申请日期 |
1995.10.25 |
| 申请人 |
HITACHI CABLE LTD |
发明人 |
WAJIMA MINEO;SAKAGUCHI HARUNORI;TANI TAKEHIKO |
| 分类号 |
C30B23/02;C30B29/40;H01L21/203;(IPC1-7):C30B23/02 |
主分类号 |
C30B23/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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