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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09118979(A) 申请公布日期 1997.05.06
申请号 JP19950279079 申请日期 1995.10.26
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YOKOSARA AKIO
分类号 C23C14/34;C23C14/56;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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