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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09120954(A) 申请公布日期 1997.05.06
申请号 JP19950277323 申请日期 1995.10.25
申请人 NEC CORP 发明人 HIRATA TAKESHI
分类号 C23F4/00;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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