| 发明名称 |
APPARATUS FOR OBTAINING UNIFORM AMOUNT OF INJECTION IN PLASMA DOPING (PLAD) ION IMPLANTATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09120793(A) |
申请公布日期 |
1997.05.06 |
| 申请号 |
JP19960151824 |
申请日期 |
1996.05.24 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOC INC |
发明人 |
DEIBUITSUDO REROI CHIYAPETSUKU;SUUZAN BII FUERUCHI;MAIKERU UIRIAMU KISHITSUKU;SHIYAMIN MUHAMADO MARIKU;TEIINNIYUU TERII SHIYUNGU |
| 分类号 |
H01J37/317;C23C14/48;H01J37/32;H01L21/22;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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