| 发明名称 |
RF MATCHING SENSING CIRCUIT WITH BIDIRETIONAL COUPLER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09121105(A) |
申请公布日期 |
1997.05.06 |
| 申请号 |
JP19960211833 |
申请日期 |
1996.07.08 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
BURATSUDORII OO SUTEIMUSON |
| 分类号 |
H01P5/04;H01J37/32;H03H7/40;(IPC1-7):H01P5/04 |
主分类号 |
H01P5/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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