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发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH09121048(A) 申请公布日期 1997.05.06
申请号 JP19950277326 申请日期 1995.10.25
申请人 NEC CORP 发明人 OOISHI MITSUMASA
分类号 H01L21/28;H01L21/265;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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