| 发明名称 |
CHARGED PARTICLE BEAM TEST EQUIPMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09119961(A) |
申请公布日期 |
1997.05.06 |
| 申请号 |
JP19950300621 |
申请日期 |
1995.10.24 |
| 申请人 |
ADVANTEST CORP |
发明人 |
SHINODA SOICHI;ABIKO TORU |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R31/302;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/302 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
