| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR MEASURING FILM THICKNESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09119814(A) |
申请公布日期 |
1997.05.06 |
| 申请号 |
JP19960224835 |
申请日期 |
1996.08.27 |
| 申请人 |
HEWLETT PACKARD CO <HP> |
发明人 |
RONARUDO BUII ARUBUSU;UEIN BUII SORIN;SUTEIIBUN EE NIYUUTON |
| 分类号 |
G01B11/06;G01N21/41;G01N21/55;(IPC1-7):G01B11/06 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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