发明名称 SUPERLATTICE STRUCTURE MAGNETIC FILM AND ITS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH09121065(A) 申请公布日期 1997.05.06
申请号 JP19950277473 申请日期 1995.10.25
申请人 NEC CORP 发明人 YOSHIKAWA HIDEKI
分类号 C23C14/06;G11B5/39;H01F10/08;H01F41/30;H01L43/08;H01L43/12;(IPC1-7):H01L43/08 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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