发明名称 VERTICAL FIELD-EFFECT TRANSISTOR AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH09121053(A) 申请公布日期 1997.05.06
申请号 JP19960177676 申请日期 1996.07.08
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 FUKUTO KENJI;KANDA AKIHIRO
分类号 H01L21/265;H01L21/336;H01L29/08;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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