| 发明名称 |
MATERIAL FOR TANTALUM OXIDE FILM VAPOR PHASE GROWTH |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09121027(A) |
申请公布日期 |
1997.05.06 |
| 申请号 |
JP19960218781 |
申请日期 |
1996.08.20 |
| 申请人 |
JAPAN ENERGY CORP |
发明人 |
SUZUKI TOSHIYUKI;KUROKI MASAMI;NAKAMURA KOICHI |
| 分类号 |
C07F9/00;C23C16/40;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04 |
主分类号 |
C07F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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