Method and device for measuring the distance between a gauge and a measuring surface

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Messung von Abständen und zwar insbesondere ein Rastertunnelmikroskop sowie ein zugehöriges Meßverfahren. Die Vorrichtung weist eine Meßsonde (6) und eine Probenhalterung für eine Probe (5) auf. Die Meßsonde (6) ist relativ zur Oberfläche einer in der Halterung befindlichen Probe in einer xy-Ebene zweidimensional bewegbar. Die Meßsonde wird durch entsprechende Mittel während der Relativbewegung zunächst vertikal zur zweidimensionalen Relativbewegung gemäß eines KorrekturwertesΔz(x,y) verfahren.Δz(x,y) ist die durch Schieflage der xy-Ebene zur Probenoberfläche bedingte Abstandsveränderung. Eine Reglereinrichtung (7) ist vorgesehen, mittels der die Meßsonde anschließend derart vertikal zur zweidimensionalen Relativbewegung verfahren wird, daß der Abstand zwischen Sonde und Oberfläche der Probe an den Meßorten konstant ist. Ferner sind Mittel (8) vorhanden, die das Reglersignal zur Erreichung des konstanten Abstandes als Maß für den zu messenden Abstand ermitteln. Erfindungsgemäß können aufwendige Reglereinrichtung vermieden werden, da nur noch mikroskopisch kleine Abstandsveränderungen mittels Regler ausgeglichen werden müssen