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发明名称 FORMATION OF MULTILAYER WIRING
摘要
申请公布号 JPH09116006(A) 申请公布日期 1997.05.02
申请号 JP19950271399 申请日期 1995.10.19
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OSAKI AKIHIKO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/306;H01L21/320;H01L21/321 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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