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发明名称 POLISHING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH09115865(A) 申请公布日期 1997.05.02
申请号 JP19960199863 申请日期 1996.07.10
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 IMAHASHI KAZUNARI
分类号 H05H1/46;B24B1/00;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/3105;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/304;H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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