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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09116012(A) 申请公布日期 1997.05.02
申请号 JP19950274497 申请日期 1995.10.23
申请人 SHARP CORP 发明人 SAITO SATOSHI;WADA SAKAE
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
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