发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH09116143(A) 申请公布日期 1997.05.02
申请号 JP19950291701 申请日期 1995.10.16
申请人 NITTETSU SEMICONDUCTOR KK 发明人 MURAI ICHIRO
分类号 H01L29/78;H01L21/265;H01L21/28;H01L21/316;H01L21/336;H01L29/10;H01L29/423;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
地址