| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09115919(A) |
申请公布日期 |
1997.05.02 |
| 申请号 |
JP19950265717 |
申请日期 |
1995.10.13 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
OKU YUUKI;NAKANO HIROBUMI;MIYAKUNI SHINICHI;SHIMURA TERUYUKI;HATTORI AKIRA |
| 分类号 |
H01L29/41;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/331;H01L23/52;H01L29/205;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/73;H01L29/732;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/331;H01L21/306;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L29/41 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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