发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH09115920(A) 申请公布日期 1997.05.02
申请号 JP19950265748 申请日期 1995.10.13
申请人 NEC CORP 发明人 HAYASHI SHIGERU
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/74;H01L21/76;H01L21/8249;H01L27/00;H01L27/06;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331;H01L21/824 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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