| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR IMPLANTING DOPANT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09115849(A) |
申请公布日期 |
1997.05.02 |
| 申请号 |
JP19960259411 |
申请日期 |
1996.09.30 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
SHIYUPIRIDON GISUDAKISU;MIHIYAERA TSUERUNAA |
| 分类号 |
C30B31/06;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 |
主分类号 |
C30B31/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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