| 发明名称 |
DRY CLEANING METHOD FOR DRY ETCHING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09115879(A) |
申请公布日期 |
1997.05.02 |
| 申请号 |
JP19950265732 |
申请日期 |
1995.10.13 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
HASEBE YUTAKA;OTA TOSHIYUKI |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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