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发明名称 APPARATUS FOR EXECUTION OF LASER BEAM EXPOSURE TREATMENT TO DISKLIKE SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH09115151(A) 申请公布日期 1997.05.02
申请号 JP19960259727 申请日期 1996.09.30
申请人 BARUTSUAASU & LEYBOLD DOICHIYURANTO HOLDING AG 发明人 BERUNTO HENZERU;FURIIDORITSUHI HOOFUMAN;HERUMAN KOOPU;PAURU KAIZAA;EEBERUHARUTO FUAIKU;RARUFU ZUYUUSU
分类号 G11B7/085;G11B7/26;(IPC1-7):G11B7/085 主分类号 G11B7/085
代理机构 代理人
主权项
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