发明名称 FORMATION METHOD OF PATTERNED METAL LAYER
摘要
申请公布号 JPH09115111(A) 申请公布日期 1997.05.02
申请号 JP19960200243 申请日期 1996.07.30
申请人 DAIU DENSHI KK 发明人 RO SAIGUU
分类号 C23C14/04;C23F4/00;G11B5/17;G11B5/31;(IPC1-7):G11B5/31 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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