| 主权项 |
1. 一种成膜装置用构成组件,其特征在于:系由铝或铝合金所构成,或由表面设有大小数毫米(mm)或毫米以下之凹凸的铝或铝合金所构成,该成膜装置用构成组件系预先浸渍于硫酸,磷酸,草酸,铬酸之任一者中,成膜中附着堆积的成膜材料不会剥离脱落。2. 一种成膜装置用构成组件之制造方法,其特征在于:在制造由铝或铝合金所构成之成膜装置用构成组件,或,由表面设有大小数毫米或毫米以下之凹凸的铝或铝合金所构成的成膜装置用构成组件时,使用浓度3-25%之硫酸、磷酸、草酸、铬酸之任一酸浸渍该等组件;在常温用硫酸浸渍24小时,或在常温用磷酸、草酸或铬酸浸渍1星期以上。图示简单说明:图1系表示设于实施例1之铝合金平板的凹凸,A为部份平面图,B为部分侧面图。图2系表示设于实施例3之铝合金平板的凹凸,A为部份平面图,B为部分侧面图。图3系有关实施例1及比较例之防附着板的气体释出速度图。图4系习知例之1种,作为比较例之防附着板的部份断面图 |
