Verfahren zum Trennen von in einem Körper verbundenen Elementen, insbesondere elektronischen Elementen,申请号DE1995138634-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zum Trennen von in einem Körper verbundenen Elementen, insbesondere elektronischen Elementen
摘要
申请公布号	DE19538634(A1)	申请公布日期	1997.04.30
申请号	DE1995138634	申请日期	1995.10.17
申请人	DEUTSCHE ITT INDUSTRIES GMBH, 79108 FREIBURG, DE	发明人	IGEL, GUENTER, DIPL.-ING., 79312 EMMENDINGEN, DE;MALL, MARTIN, DIPL.-PHYS. DR.RER.NAT., 79100 FREIBURG, DE
分类号	B81C99/00;H01L21/301;H01L21/78;(IPC1-7):H01L21/78;H01L21/306;C23F4/00;H05K3/22;B28D5/00	主分类号	B81C99/00
代理机构		代理人
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