发明名称 Photolackzusammensetzung
摘要
申请公布号 DE68927140(T2) 申请公布日期 1997.04.30
申请号 DE19896027140T 申请日期 1989.06.12
申请人 SUMITOMO CHEMICAL CO., LTD., OSAKA, JP 发明人 UETANI, YASUNORI, MINOO-SHI OSAKA-FU, JP;HANABATA, MAKOTO, KAWABE-GUN HYOGO-KEN, JP;NAKANISHI, HIROTOSHI, MISHIMA-GUN OSAKA-FU, JP;KUWANA, KOJI, FUJIIDERA-SHI OSAKA-FU, JP;HANAMOTO, YUKIO, TOYONAKA-SHI OSAKA-FU, JP;OI, FUMIO, ASHIYA-SHI HYOGO-KEN, JP
分类号 G03F7/022;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/022 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
主权项
地址