发明名称 Optical surface measurement apparatus and methods
摘要
申请公布号 GB9705105(D0) 申请公布日期 1997.04.30
申请号 GB19970005105 申请日期 1997.03.12
申请人 BROWN & SHARPE LIMITED 发明人
分类号 G01B11/02;G01B11/30 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
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